Sputteroidun ohuen - kalvonpaine -anturin esittely
Jun 03, 2025
Seoskalvon paine -anturi käyttää sputterointia, haihtumista ja muita menetelmiä ohuiden kalvojen venymisvastusten keräämiseen metallilastiseen substraattiin. Sillä on suuri tarkkuus, hyvä viritysvastus, vahva anti - häiriöt, hyvät lämpötilaominaisuudet ja laaja sovelluslämpötila.
Seosfilmin toimintaperiaate on "kanta - vastusvaikutus". Kun joustavalle herkälle elementille kohdistetaan tietty paine, se läpikäy pienen mekaanisen muodonmuutoksen, joka aiheuttaa arkaluontoisen elementin seoskalvon muodonmuutoksen ja lopulta seoskalvon vastusmuutoksen. Siltapiirin läpi vastusmuutos muunnetaan vakaaksi jännitteenmuutokseksi.
MeidänUPC9 Sputtered ohut - kalvon paineen muunninValmistetaan sputterointekniikan perusteella. Paineväliaine voi toimia 17 - 4ph ruostumattomasta teräksestä valmistettua kalvoa suoraan. Anturin "mikro" -resistenssikalvo valmistetaan molekyylisidoksen avulla, sitten tehdään tarvittavalle Wheatstone -siltalle mikroelektroniikkatekniikan avulla ja metallityyppisten anturielementtien muodostamiseksi käyttämättä liimoja. Siksi muuntimella ei ole liikkuvia osia, ei myöskään tarvitse suljettua kammiota ja öljy täytettyä onteloa.UPC9 -paineenmuuttajaon esillä hyvällä pitkällä - termi -stabiilisuus työhön on ankaria ympäristöjä.
Kaikki kiinnostukset, ota yhteyttäStella Meng: stellameng@utopsensor.com.
